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蒸着材料供給機器関連

透明導電膜加湿ユニット

2Oを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装置、アッシング装置、導電膜プロセスに安定供給します。
加湿タンク内でN2ガスをバブリング、マスフローコントローラーで安定制御、温調器でプロセスラインベーキング制御、各炉へ安定供給します。

透明導電膜加湿ユニット
仕 様
型 式 LHO-1000
外形寸法 200(W)×300(D)×250(H)
重 量 約13kg(液体材料含まず)
電 源 ヒーター用 AC100V 5A
制御用 DC12V 1A
MFC用 +15VDC 40mA
MFC用 -15VDC 180mA
気化方法 直接気化方式
最大制御気化量 1000ccM
供給ユニット出口圧力 30torr以下
リークレート 1.3-7x10atm゜cc/sec以下
(計装Airライン、PFA継手部分は除く)

■温度制御
外部よりの制御信号により、タンクおよび配管ヒーターの温度制御を行います。
また、タンクおよび配管の温度異常が発生した時、各サーモスイッチにより異常信号を出力します。

●タンク制御温度・・・・・・・・60〜65℃(センサーPT100Ω)
●配管制御温度・・・・・・・・・70〜75℃(センサーPT100Ω)
●タンク・配管温度異常・・・・110℃(センサーサーモスイッチ)

■水量管理
2Oタンク水位検知用に、H・Mレベルの2つの光学式液面センサーがあります。
●ロッド材質・・・・・・・・PFA・石英
●専用アンプ・・・・・・・ SA-10T