半導体関連

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医療・医薬・飲料関連

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ウエハ・サービス

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活性炭材料

• 活性炭材料“ナノブラックホール”（NBH）

Microflex C-seal

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不活性ガス循環装置

• 不活性ガス循環装置
  販売元：(株)FEBACS

露光装置関連

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• FPC等
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装置用冷却水分配ユニット

用力を装置各補器に分配するユニット

冷却水ユニット

用力を装置各補器に分配するユニット。 上部ガス制御部も搭載。

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