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研究開発

テクノマップ

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開発関連

• 燃料電池機器
  • PEFC燃料電池評価システム　L-PEFC
  • SOFC評価装置・実証システム
  • セパレーター用ホットフレキ　L-FLX

開発システム

• DLC成膜装置

委託サービス

• PCT委託特性の評価
• 吸蔵/吸着量特性の評価
  • 常温仕様
• 耐圧/気密委託

製　品

【半導体関連】

ガス・液供給系

• ガスコントロールユニット集積タイプ
• 10L-47L 3本立てシリンダーキャビネット
• 10L-47L 3本立てフルオートシリンダーキャビネット
• 液晶カセット洗浄用温水供給ユニット
• 液体ソースガス供給装置
• 装置用ガスコントロールキャビネット
• 47L 6本立てシリンダーキャビネット

冷却水系

• 装置用冷却水分配ユニット
• 冷却水ユニット

各種配管A'SSY

• 配管A'SSY

各種装置

• エキシマUV両面照射装置
• スパッタ・アッシャー複合機
• 燃料電池評価システム

【医療・医薬・飲料関連】

医療・医薬関連

• 限界ろ過スキッド

飲料関連

• 飲料関連

【ウエハ・サービス】

• ウエハ・サービス

【活性炭材料】

• 活性炭材料“ナノブラックホール”（NBH）

Microflex C-seal

• 国内販売総代店理

不活性ガス循環装置

• 不活性ガス循環装置
  販売元：(株)FEBACS

露光装置関連

• PCB
• FPC等
• 積算光量計

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