製品情報

Microflex C-seal国内販売総代理店

2009年10月1日ヒューズ・テクノネットと(米)マイクロフレックス テクノロジーズ社は、国内販売総代理店契約を締結いたしました。

Microflex社について

社名:Microflex Technologies,Inc.
設立:2001年6月
社長:Mike Doyle
住所:15538 Graham St., Huntington Beach, CA 92649.
電話:(714) 899-2225
FAX : (714) 899-3346,


HUNTINGTON BEACH, CA ---JUNE 2001 ----Microflex Technologies is the newest name in seal technology. Founded by Mike Doyle, former president of Unit Instruments, maker of process mass flow controllers, Microflex specializes in “C” seal technology.

As a designer and builder of systems and components that have utilized literally millions of seals, Doyle's twenty-five years of experience and expertise have led to the creation of an advanced product that improves efficiency and reduces costs. He added, “We designed the MicroSeal to reduce or eliminate the costly rework and scrap produced by the current seal designs".

The new Micro Seal line will set a new standard for modular gas system “C” seals. The seals offer first-pass sealing based on excellent surface compliance and rebound rate that is ten times greater than existing seals.

The patent pending honeycomb design is offered in 316 VIM/VAR stainless precision machined from billet stock, offering the highest leak integrity available. A full range of configurations is available for 1/4 - 3/8-inch passages for modular gas and chemical delivery systems.

Microseal(C-seal)について

■MicroSealは半導体製造装置の集積ガスパネル(K1S*1)のサブストレートブロックと搭載部品をシールするC-sealタイプのO-リングです。
*1:K1Sは米国Celerity社がパテント保有の集積ガスパネルブロックシステムの製品名です。

■MicroSealは米国大手半導体装置メーカーAMAT、LAMの300mm装置に標準採用され全世界のデバイスメーカーで使用されています。
Microseal(C-seal)について

MicroSealの特徴

■独特のハニカム構造により高いシール性能を実現。
■低トルクでの締め付けが可能。
■ワールドワイドのパテント取得。
■表面処理:CRP処理
■表面粗度:5Ra
MicroSealの特徴


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