製品情報

各種装置

エッチャー、アッシャーなどの真空装置、ドライデスミヤ、各種熱処理炉(熱CVD、フッ化炉)など。

エキシマUV両面照射装置

エキシマUV両面照射装置

高純度ケミカル供給装置

高純度ケミカル供給装置

エッチング装置

エッチング装置

スパッタ・アッシャー複合機

スパッタ・アッシャー複合機

4種ガス混合装置

4種ガス混合装置

高圧ガス供給装置

高圧ガス供給装置

燃料電池評価システム

燃料電池評価システム